低温ポンプでは、冷蔵庫または液体ヘリウムで非常に低温の冷却板に冷却されて配置されます。 それはガスを凝縮させ、凝縮液の蒸気圧をポンプの限界圧力以下に保ち、ポンプ効果を達成する。 低温ポンピングの主な機能は、低温凝縮、極低温吸着および極低温捕獲である。 低温凝縮：冷却板の表面上のガス分子の凝縮または凝縮ガス層上の凝縮、平衡圧力は凝縮液の蒸気圧に基本的に等しい。 コールドプレートの温度は、空気をポンピングするときは25K未満でなければならず、ポンピングするときはコールドプレートの温度が低くなります。 極低温凝縮の凝縮層の厚さは約10ミリメートルである。 極低温吸着：単一分子層の厚さ（センチメートルオーダー）のコールドプレート上にコーティングされた吸着剤の表面に吸着されたガス分子。 吸着の平衡圧力は、同じ温度での蒸気の平衡圧力よりもずっと低い。 蒸気圧が水素の大気圧に等しい20Kのように、20Kの吸着平衡圧力に対する活性炭の水素吸収は低くなる。 したがって低温吸着によって低温で排気することが可能です。 極低温捕捉：吸着温度で凝縮することのできないガス分子は、凝縮性ガス層の増加によって埋設され、吸着される。
一般に、ポンプの限界圧力は、コールドプレート温度下での凝縮ガスの蒸気圧である。 温度が120Kのとき、水の蒸気圧はPPの蒸気圧よりも低い。 温度が20Kのとき、ヘリウム、ネオン、水素以外のPAの蒸気圧よりも他のガスの蒸気圧は低い。 しかし、コンテナと低温のコールドプレート温度をポンピングすることによって、圧力ポンプは凝縮液の蒸気圧よりも高い。 室温のコンテナの場合、低温プレートは20K、凝縮水蒸気圧の約4倍のポンプの限界圧力です。
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