クライオポンプは、低温表面を使用してガスを凝縮する真空ポンプであり、凝縮ポンプとしても知られています。 クライオポンプは、最高のポンプ速度と最低の極限圧力でクリーンな真空を得ることができ、半導体や集積回路の研究や製造、分子ビーム研究、真空コーティング装置、真空表面分析機器、イオンで広く使用されています。注入器と宇宙シミュレーション。 デバイスなど
ポンプの原理クライオポンプには、液体ヘリウムまたは冷蔵庫で非常に低温に冷却されるコールドプレートが装備されています。 ガスを凝縮し、凝縮液の蒸気圧をポンプの極限圧力以下に保ち、ポンプ効果を実現します。 低温ポンピングの主な機能は、低温凝縮、低温吸着、および低温捕捉です。
クライオポンプ
①低温凝縮：ガス分子はコールドプレートの表面または凝縮ガス層に凝縮し、平衡圧力は基本的に凝縮液の蒸気圧に等しくなります。 水素をポンピングする場合、コールドプレートの温度は低くなります。
②低温吸着：コールドプレートにコーティングされた吸着剤の表面に、1分子層の厚さでガス分子を吸着させます。 吸着の平衡圧力は、同じ温度での蒸気圧よりもはるかに低くなります。
③極低温トラップ：抽出温度では凝縮できないガス分子は、凝縮性ガスの成長層に埋もれて吸着されます。