媒体の供給方法によれば、クライオポンプは以下のタイプに分けられる:
貯蔵タンク極低温ポンプ:低温媒体(液体ヘリウム)がポンプ内の貯蔵タンクに直接注入され、ガスを凝縮してポンプの目的を達成する。
貯蔵タンククライオポンプの利点は、ポンプのサイズが小さく、振動、騒音がなく、操作が簡単であることです。
貯蔵タンク極低温ポンプの欠点は、運転コストが高く、低温媒体の各充填の使用時間が短く、長時間連続して運転する必要がある真空システムは、作動媒体を定期的に補充する必要があり、低温媒体の供給条件によって制限されることである。
プロセスクライオポンプ:ポンプ内のクライオパネル冷却パイプは冷凍エキスパンダに接続され、極低温媒体(ガスヘリウム)は外側パイプラインを介してクライオポンプに供給され、クライオパネルの熱を吸収した後、冷凍圧縮機に戻って閉じたサイクルを形成する。ポンプの容積は巨大であり、パイプラインは複雑であり、パイプラインの冷却損失が大きい。
プロセスクライオポンプの利点は、大きな冷却能力を持ち、大気体積または大きな真空チャンバを除去するのに最も適していることです。
小型冷蔵庫クライオポンプ:クローズドサイクル小型冷蔵庫クライオポンプは、低温ポンプ本体、空気抽出クライオパネル、放射線遮蔽板、冷蔵庫、コンプレッサで構成されています。
小型冷凍機の極低温ポンプとプロセスの極低温ポンプとの最大の違いは、冷蔵庫の第1および第2のコールドヘッドが放射スクリーンおよびコールドプレートに直接接続され、冷蔵庫と圧縮機との間の接続パイプラインの流れが常温であること、 高い(または低い)温度。)加圧ガス媒体、低温媒体の輸送上の問題がなく、かつプロセスクライオポンプおよび貯蔵タンククライオポンプの利点を有する。現在、理想的なクリーンな超高真空ポンプです。
小型冷蔵庫クライオポンプは、薄膜調製、マイクロエレクトロニクス技術、高エネルギー物理学、小型リングダイ装置、その他の産業分野で広く使用されています。