クライオポンプは、注入-タイプの液体ヘリウムクライオポンプと閉回路-回路ガスヘリウム冷凍機クライオポンプの2つのタイプに分けられます。
注入液体ヘリウムクライオポンプ
主に液体ヘリウム容器、ポンプ本体、バッフルに接続された液体窒素キャビティで構成されています。 液体ヘリウムの消費量を減らすために、液体ヘリウム容器の外壁は二重-層の断熱壁を採用し、その間に排気されます。
ポンプがPa圧力に事前にポンプで送られると、液体窒素と液体ヘリウムが注入され、ガスは4.2Kの動作中のコールドプレートで凝縮します。 プレ-ポンピング後、ヘリウムと水素の分圧はPaのオーダーになるため、ポンプはPa未満の極限圧力を得ることができます。
液体ヘリウム容器を排気して6650Paまで減圧すると、液体ヘリウムの温度を2.3Kまで下げることができ、下限圧力を得ることができます。
クローズドサイクルガスヘリウム冷凍機クライオポンプ
1970年代に登場した新しいタイプのクライオポンプです。 このポンプはヘリウムを消費せず、操作が簡単で、メンテナンスが簡単で、ますます使用されています。
冷蔵庫の冷凍媒体はガスヘリウムで、最初の-ステージのコールドプレートの温度は50 - 100Kで、一般的な用途は65Kで、水蒸気を凝縮して事前に{{ 4}}他のガスを冷却します。 第2ステージのコールドプレートの温度は10〜20Kで、窒素、酸素、アルゴンなどのガスを凝縮するために使用されます。
二次コールドプレートの内面は活性炭でコーティングされています。 活性炭は、低温でヘリウム、ネオン、水素に対して強い吸着能力を持っています。 コールドプレートは無酸素-銅でできており、放射率を下げるために表面が鏡面に研磨されています。
ポンプの最大圧力はPa、使用圧力範囲はPa、プレ-ポンプ圧力は1 Paである必要があります。完成品のポンプ速度は60、000リットルに達しました。 /2番目。 さらに、プロセスの特性に応じて、空気抽出コールドプレートをポンプ容器に配置することができ、空気抽出速度は106リットル/秒以上に達することができます。
構造的特徴
縦型構造：地中埋設に適しており、モーターの熱風、気温、日照などの影響を受けず、保温性に優れています。 ポンプの吸込高さを減らし、充填ヘッドを増やし、有効吸込みヘッドを改善することができます。 垂直構造も排気することは有益であり、サスペンションシャフトはシャフトシール装置の配置を容易にするのに十分な高さを持っているので、ポンプは垂直バレルポンプとも呼ばれます。
対称構造：ポンプの全体的な構造は、低温状態で均一に変形できるように対称的に配置されるように努めています。 コールドヘッドは一般に2-ステージのメカニズムを採用しており、最初のステージは80Kに達し、2番目のステージは10Kの温度に達します。
二重-層シェル：冷たさを保ち、危険な媒体の輸送を容易にするために、通常、二重-層シェルになります。 内殻にはポンプ圧がかかり、内殻と外殻の間に吸込圧力がかかるため、内殻の強度要件を適切に低減することができます。 外殻は、断熱効果のある真空中間層にする必要があります。