低温ポンプ用吸着材

Apr 24, 2018 伝言を残す

吸着材料は極低温ポンプの作動性能に大きな影響を与える。 真空獲得の観点からは、吸着剤のない極低温ポンプも要件を満たすことができる。 しかしながら、低温ポンプは、通常、液体ヘリウムまたは冷凍および低温に依存し、最低温度は4Kに達することができる。同時に、ヘリウムは真空漏れ検出に頻繁に使用されるので、低温ポンプが必要である。 したがって、極低温ポンプは材料を吸着してガスを除去するのを助ける必要がある。 さらに、吸着材料は、低温で吸着材料を用いない場合よりも低い平衡圧力を得ることができる。 低温ポンプの作業モードは表面吸着によるものである。 表面積が大きいほど、極低温ポンプの性能は良好である。 したがって、適切な吸着材料は、より大きな比表面積および吸着能力を有さなければならない。 吸着された物質の物理量は、主として、形状および粒度分布; 表面構造; 密度; 比表面積; 孔サイズ分布、Kong Rongおよび平均細孔径が含まれる。 現在、極低温ポンプ用の吸着材料は、主に上記のパラメータによって特徴付けられている。


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