低温ポンプを注入液ヘリウムクライオポンプと閉サイクルヘリウム冷凍機クライオポンプに入れます。
注入型低温ポンプ
主に液体ヘリウム容器、ポンプ本体、液体窒素のバッフル板キャビティ部分に接続されています。 液体ヘリウムの消費を減らすために、液体ヘリウム容器の外壁は、その間に二重断熱壁および真空を有する。 ポンプが液体窒素中へのPA圧力の前にポンプで送られ、コールドプレート内のヘリウムガス凝縮物が4.2Kで作動する。 PAの数に対する水素ヘリウムの分圧は予備ポンプされているので、ポンプは最高圧力をpa以下にすることができます。 液体ヘリウム容器減圧6650 kPaに減圧すれば、液体ヘリウム温度を2.3Kに下げることができ、下限圧力を得ることができる。
閉サイクルガスヘリウム冷凍機用低温ポンプ
それは70年代に登場した新しいタイプの低温ポンプでした。 このポンプはヘリウムを消費せず、操作が簡単で、メンテナンスが容易で広く使用されています。 冷凍機の冷却媒体はガスヘリウムであり、第1種冷却板温度は50〜100Kであり、典型的な適用は水蒸気と他のガスを凝縮させるために使用される65Kであり、2段冷却板の温度は窒素、酸素およびアルゴンガスを凝縮するために使用される10〜20K。 2段冷却板の内面は、活性炭で被覆されている。 活性炭は低温でヘリウム、ネオン、水素の吸着能力が強い。 コールドプレートは無酸素銅でできており、表面は鏡面度まで研磨されているので、放熱係数が低下します。 ポンプの限界圧力はPA、使用圧力範囲はPPA、プレポンピング圧力は1 PPAです。 製品の生産速度は毎秒60000リットルに達しています。 さらに、プロセスの特性に応じて、排気冷却プレートをポンプ容器内に配置することができ、ポンプ速度は毎秒106リットルに達することができる。
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