クライオポンプは、今日の生活でも広く使用されています。クライオポンプについて聞いたことがない人も多いかもしれません。クライオポンプは、低温表面凝縮ガスを使用する真空ポンプの一種です。利点は、ポンプ出力が最も大きいことです。今日は、極低温ポンプの仕組みを見てみましょう。
クライオポンプの動作原理は、ガスを使用して超低温表面に物理的に吸着し、排気の効果を達成することです。これは、クリーンな真空を得るための効果的かつ迅速な方法です。
クライオポンプは非常に高い真空(10-11Pa)に達することができ、速い排気速度、オイルなし、無制限の設置方向の利点を持っています。
クライオポンプの1段目のコールドステージでは、シールドカバーとバッフルをセットし、温度を80Kに維持します。二次冷却ステージを15Kに維持し、その上に極低温カバーと活性炭吸着剤をセットした。
水蒸気は80Kシールドと80Kバッフルで固化します。窒素、酸素、アルゴンは15K極低温カバー上で固化します。水素、ヘリウム、ネオンは、15K極低温カバー内の吸着剤に吸着されます。クライオポンプは全てのガスを排気できるが、吸着ガス量が多すぎると排気速度が低下してしまう。この場合、クライオポンプを加熱し、吸着したガスを放出し、再度使用する必要があります。
クライオポンプの特徴
クライオポンプは、凝縮液ポンプとも呼ばれる、ガスを凝縮させるために低温表面を使用する真空ポンプです。クライオポンプは、最高のポンピング速度と最も低い到達圧力でクリーンな真空を得ることができ、半導体や集積回路の研究と製造、分子線研究、真空コーティング装置、真空表面分析装置、イオン注入装置、宇宙シミュレーション装置などの側面で広く使用されています。
クライオポンプは、非常に低温の冷却面(≤77K)の凝縮効果を利用してシステムからガスを除去する真空ポンプです。1960年代以来、極低温ポンピングは真空の取得と適用にますます広く使用されています。
クライオポンプはクリーンな真空ポンプです。極低温媒体は、ポンプの吸引面を冷却し、密閉容器に貯蔵または循環させる冷媒のみであるため、真空空間との接触はない。この機能は、クリーンでオイルフリーの真空システムを必要とする特定の真空システムにとって重要です。
クライオポンプは、ほとんどのガスに対して非常に低い分圧と非常に高いポンプ速度を達成することができます。クライオポンプが液体ヘリウム媒体で動作する場合、それはまた、大きな実際のポンプ能力と非選択的ポンピング(ヘリウムを除く)の利点を有する。
クライオポンプは、半導体や集積回路の研究・生産、分子線研究などの分野で重要な役割を果たしています。クリーンな真空ポンプです。上記はクライオポンプの動作原理に関するものです。