クライオポンプは、ガス凝縮、極低温吸着、極低温トラッピング、または真空を得るための吸引の原理に従って作られています。
1.ポンプの使用圧力に応じて、連続流量範囲のクライオポンプ、分子流量範囲のクライオポンプ、通常は凝縮ポンプと吸着ステージまたは極低温捕捉ステージに分けることができます。
2.冷却方法により、貯蔵タンククライオポンプ、蒸発クライオポンプ、冷凍クライオポンプに分けられます。 その中で、貯蔵タンククライオポンプと蒸発クライオポンプは両方とも冷凍に液体冷媒を使用し、冷却シールド表面は一般的に使用される液体窒素であり、極低温表面は一般的に冷凍に使用される液体ヘリウムまたはガスヘリウムです。 液体水素は可燃性、爆発性、高価格であるため、液体ヘリウムよりも蒸発エンタルピーが高いにもかかわらず、まだほとんど使用されていません。
冷凍クライオポンプ冷蔵庫は、Giffordによって一般的に使用されています。 マクマホンタイプ（GM冷蔵庫）とスターリングタイプ（セント冷蔵庫）。 ポンプ速度の速い冷凍クライオポンプには、液体ヘリウム温度グレードの冷凍機を使用でき、JTバルブを設定して液体循環冷凍装置を形成できます。また、液体貯蔵タンクまたは窒素液化装置内の液体窒素を使用して、バッフルとシールドの表面を冷却します。
クライオポンプの主な性能
①ポンプ速度よりも速く、他のすべてのタイプのポンプよりも優れています。
②形状に制限はなく、真空チャンバー内に浸したり、真空チャンバーの壁にフランジで固定したりできます。
③真空システムを汚染することなく、完全にクリーンな真空を提供できます。
④10-12Pa以下のような極低圧の真空度が得られます。 また、クライオポンプの運転は信頼性が高く、揚水速度が比較的速い場合、従来の真空ポンプに比べて投資コストが低く、自動化が容易に実現できます。